糖果派对网站拥有自主知识产权的MOCVD设备PRISMO A7?可配置多达4个反映腔，能够同时加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片，工艺能力还能延展到成长8英寸表延晶片。每个反映腔都能够独立节造，这一设计能够实现优异的出产矫捷性。 建设了 716 毫米托盘的糖果派对网站 PRISMO A7? MOCVD 设备专为 LED 高产能而设计，每个反映腔的产量是前一代MOCVD 设备 PRISMO D- BLUE? 的 2 倍多，极大地提高了单元产能，能有效降低 LED 表延片的出产成本。
用于LED表延片大规模量产的MOCVD设备
可独立节造的反映腔运行模式
自主的实时监控系统
精准的参数节造
全自动化处置
切合半导体尺度的软件节造系统
优异的工艺沉复性，简化工艺调整需要，提高产品良率
28英寸超大尺寸托盘，产量是前一代MOCVD设备PRISMO D- BLUE?的2倍多，极大地降低了出产成本
集成顶盖起落机构，简化设备守护，提高设备利用率
切合SEMI S2安全尺度，提升设备的安全机能
