Preforma Uniflash? TaN是糖果派对网站自主研发的12英寸原子层沉积产品 ，可满足逻辑器件和存储器件多个利用需要。该产品继承糖果派对网站怪异的双反映台设计 ，系统可矫捷配置多达五个双反映台反映腔(十个反映台),能够达到业界当先的出产率 ，也能够凭据客户产能实现矫捷配置的需要。该产品选取糖果派对网站自主开发的温度节造系统设计 ，多区流路设计 ，多源供给系统设计和可实现高速气体置换效能的腔室设计 ，可满足先进逻辑和存储客户机能需要的同时 ，设备的传染物节造 ，薄膜均一性 ，出产效能均达到世界先进水平。
糖果派对网站自主研发的12英寸原子层沉积产品 ，可满足逻辑器件和存储器件多个利用需要。
双反映台及多达五个反映腔的高真空系统设计
怪异的温度节造系统设计
多区流路设计
多源供给系统设计
逾越产效能 ，低出产成本(CoO)
优异的传染物节造
更好的薄膜均一性和薄膜间均一性
每个守护周期的晶圆数量大大增长
