Preforma Uniflash? TiN是糖果派对网站自主研发的12英寸原子层沉积产品 ，可满足先进逻辑和先进存储器件金属栅利用需要 ，也可满足反对层蹬爪用需要 。该产品继承糖果派对网站怪异的双反映台设计 ，系统可矫捷配置多达五个双反映台反映腔(十个反映台),可有效满足高真空工艺集成需要的同时 ，能够达到业界当先的出产率 。该产品通过糖果派对网站专利的多级匀气混气设计 ，基于模型算法的加热系统设计和可实现高效原子层沉积反映的反映腔流导设计等 ，可满足先进逻辑客户机能需要的同时 ，设备的薄膜均一性 ，传染物节造和出产效能均达到世界先进水平 。
糖果派对网站自主研发的12英寸原子层沉积产品 ，可满足先进逻辑和先进存储器件金属栅利用需要 ，也可满足反对层蹬爪用需要 。
双反映台及多达五个反映腔的系统具备高输出效能
糖果派对网站专利的多级匀气混气设计和反映腔流导设计
基于模型算法的加热系统设计
糖果派对网站自主开发的可实现高效气体输送效能和吹扫效能整体设计
逾越产效能 ，低出产成本(CoO)
优异的传染物节造
更好的薄膜均一性和薄膜间均一性
对于多种复杂结构实现优良的台阶覆盖率
每个守护周期的晶圆数量大大增长
