作为糖果派对网站公司自主研发的具备三维填充能力的12英寸原子层金属钨沉积设备，Preforma Uniflex? AW继承了钨系列产品的特点，可配置五个双反映台反映腔，有效提高设备出产效能。此表，系统中每个反映腔均可用于形核和主体膜层成长，可凭据客户现实工艺需要优化配置，进一步提逾越产中的设备利用率。Preforma Uniflex? AW选取齐全自主知识产权的高速气体切换节造系统，可精准节造工艺过程，实现精准的原子级别成长，因而所成长膜层具备优异的台阶覆盖率和低杂质浓度的利益。Preforma Uniflex? AW还引入怪异的气体输送系统，进一步提升机能，使该设备具备更先进技术节点的延展能力。该设备也继承了糖果派对网站公司自主开发的流场热场优化设计，从而提升薄膜均一性和工艺调节矫捷性。
可配置五个双反映台反映腔，有效提高设备出产效能。
双反映台及多达五个反映腔的系统
独立紧凑的反映空间
糖果派对网站专利的气体切换系统
高效矫捷的工艺调节窗口
自主设计的真空卡盘加热台
逾越产效能，低出产成本，低化学品亏损
优良的薄膜均一性和工艺不变性
优良的三维结构及复杂结构填充机能
对弯曲度较大的晶圆也拥有优良的工艺处置能力
