今年IC China（一年一度在上海进行的业内驰名半导体展会和论坛）展会期间 ，先进的设备造作商 -- 糖果派对网站半导体设备（上海）有限公司（以下简称“糖果派对网站公司”） ，将于本周三在上海世博展览馆 ，就其设计创新、技术当先的新一代刻蚀设备产品进行新闻颁布会。届时 ，糖果派对网站公司董事长兼首席执行官尹志尧博士将介绍公司产品开发的最新进展 ；糖果派对网站公司资深技术专家将在会上介绍公司研发部门开发成功的两款新一代刻蚀设备。
新设备中的第一款是Primo SSC AD-RIE（“单反映器甚高频去耦合反映离子介质刻蚀机”） ，可利用于先进的存储芯片和逻辑芯片的加工出产 ，蕴含2x纳米及1x纳米代深邃宽比接触孔刻蚀、沟槽及接触孔刻蚀、串行刻蚀（在单反映器中实现多步操作）。Primo SSC AD-RIE占有怪异的创新设计 ，可能在工艺节造方面实现前所未有的矫捷性 ，并能援手芯片出产商在确保芯片加工质量的同时达到更高的产出效能。
另一款 ，12英寸硅通孔刻蚀设备Primo TSV300E? ，拓展了原有的8英寸硅刻蚀产品Primo TSV200E?的能力 ，可用于多种硅深孔及深槽刻蚀。公司的8英寸硅通孔刻蚀设备Primo TSV200E?获得业界认可 ，已被亚洲多多客户用于先进系统封装、2.5维封装和微机电系统芯片的出产。糖果派对网站第一台Primo TSV300E?设备已在国内当先的晶圆封装厂运行。
这两种设备强化了糖果派对网站公司产品布局 ，为全球芯片出产商应对半导体工艺的挑战提供了更多、更新、更好的解决规划。
糖果派对网站公司董事长兼首席执行官尹志尧以为 ，IC China是一个极有价值的平台 ，极度适合新技术产品颁布。他暗示：“作为中国起步较早的半导体展会 ，IC China对国内表的技术专家和企业辅导人拥有极大的吸引力 ，同时为半导体造作前沿技术的深刻会商提供了平台。我们很欣喜能在这次展会上颁布糖果派对网站新一代刻蚀设备。这些设备都拥有当先的怪异创新 ，可能解决随着技术进取和资料深度整合出现的新的技术阻碍。这些设备也能为芯片出产商带来显著的成本竞争优势 ，创造更多价值。”
Primo SSC AD-RIE拥有卓越的工艺节造矫捷性 ，带来更高产能及更佳芯片加工了局
Primo SSC AD-RIE是糖果派对网站公司最新的介质刻蚀设备。它在糖果派对网站和国际当先的半导体芯片造作商的合作中开发而成 ，可能实现超高产能、较好的芯片加工质量和芯片刻蚀技术可延展性等严苛的技术指标。该设备的晶圆传递平台可配置多达6个单芯片加工反映器 ，每个反映器能够独立地优化加工前提 ，以实现分歧工艺节造的矫捷性。每个反映器的分子泵有极高的抽速 ，对蕴含压力、流量、射频功率以及温度在内的沉要参数有很好的调节作用 ，而并行工艺精确节造能实现反映器之间的优良匹配度。更佳的反映器之间匹配可能提高刻蚀的沉复性 ，从而提逾越产效能。
选取Primo SSC AD-RIE ，客户能够得到更先进的工艺、卓越的芯片加工机能、技术可延展性和成本竞争优势。
Primo SSC AD-RIE特点和优势
超高速涡轮分子泵和大抽气通路 ，能够产生高流量、低压力 ，有利于深邃宽比（HAR）刻蚀 ；
极高功率的低频射频偏压电源。7kW 2MHz偏压功率能够提供更高的离子能量 ，结合能够选配的脉冲射频功率电源一路 ，能够提高在深邃宽比（HAR）刻蚀中各向异性刻蚀的机能 ；
建设较大的射频接地面积、产生更高的直流偏压 ，能够产生更高的离子能量和更佳的刻蚀方向性 ；
双区控温的静电吸盘配有双区温控设备 ，能够提高温度和均匀性节造 ，并且更有效地散热 ；
除三区的气体散布系统（中心、边缘和极端边缘）和建设两路能够独立节造中心、边缘和极端边缘区域精密调整的气体 ，再结合双区控温的静电吸盘一路 ，产品反映器能够实现关键尺寸均匀性的精密节造 ；
选配的硅片边缘工艺套件 ，能够提高硅片极端边缘的刻蚀均匀性 ，实现更好的关键尺寸均匀性和更优化的刻蚀剖面 ，提高整体硅片良率。
Primo TSV300E?：用于硅深孔刻蚀的先进刻蚀设备
Primo TSV300E?不仅占有前一代设备TSV200E?的技术创新点 ，还拓展了工艺领域。拥有双反映台的反映器既能够单独加工单个晶圆片 ，又能够同时加工两个晶圆片。该刻蚀设备可装置多达6个加工反映台（即3个双反映器） ，这使得芯片产出能力险些翻了一倍 ，并降低了加工成本 ，对于注沉节俭成本的客户来说无疑是不二之选。
区别于Primo TSV200E? ，Primo TSV300E? 建设了高效力冷却系统的5kW高功率电源 ，能够提高工艺的调整能力 ，同时它还拥有怪异的气体急剧切换装置 ，能够使通孔刻蚀的侧壁越发光滑。产品利用了电感耦合等离子体源 ，反映器能够用于深硅刻蚀和非博世工艺。
Primo TSV300E?还有一项沉要的技术创新点 ，它能够和糖果派对网站的Primo D-RIE?刻蚀设备矫捷结合 ，混合配置出具备在统一平台进行等离子体刻蚀和TSV硅通孔刻蚀能力的设备。这种矫捷的铺排带来了技术最优化和成本的竞争优势。
Primo TSV300E?特点和优势
建设高效力冷却系统的5kW功率射频电感耦合等离子体源功率电源 ，能够提高工艺的调整能力 ；
有自主知识产权的气体散布系统 ，能够在宽大的工艺领域内显著提高刻蚀均匀性 ；
怪异的气体急剧切换装置 ，能够使通孔刻蚀的侧壁越发光滑 ；
400KHz脉冲式和陆续的偏压射频电源 ，能够解除刻蚀工艺过程中产生的通孔状态的畸变 ，同时扩大工艺的可调性 ，提高设备机能的可预感性 ；
反逆流屏蔽环能够平衡等离子体屏蔽 ，预防气体反映后反向扩散 ；
尺寸可变的气体集聚环能够优化刻蚀均匀性 ，同时拓宽工艺窗口和领域。
IC China半导体展会和论坛将于2012年10月23日至25日在上海世博展览馆1号馆进行 ，糖果派对网站公司除将召开技术创新和辅导人会议表 ，IC China展会期间还在B04展位设有展台 ，欢迎莅临参观。
关于糖果派对网站半导体设备（上海）有限公司
糖果派对网站公司致力于为全球芯片出产厂商和有关高科技领域的世界当先公司提供一系列高端的芯片出产设备。公司占有业内经验最丰硕的治理和技术专家 ，已形成强有力的市场驱动力 ，持续拓展产品线以满足各类新兴的技术需要？突д鞘褂昧颂枪啥酝鞠冉目淌瓷璞负图际 ，造作了电子产品中最为关键的芯片器件。糖果派对网站的高端设备在65、45、40、28、26纳米及以下的芯片出产领域实现了技术创新和出产力提高的最优化。糖果派对网站公司以亚洲为基地 ，总部位于中国 ，其研发、造作、销售和客户服务机构遍布日本、南韩、新加坡、中国台湾等地。
更多信息请接见公司网站：www.amec-inc.com
Primo D-RIE、Primo AD-RIE、Primo TSV200E和 Primo TSV300E为糖果派对网站公司注册商标。
