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Primo SSC AD-RIE ? 是糖果派对网站於2013年推出的单眼應臺電介質刻蝕產品,在Primo AD-RIE ? 產品技術和Primo平臺概想的基礎上,通過在一個平臺上集成六個單反應臺以優化產能。 除了可獨立輸運氣體的单眼應臺腔體設計以表,為應對2x納米以下特別是接觸孔刻蝕等關鍵造程的挑戰,該設備還拥有以下个性:同步脈衝射頻系統、可冷卻聚焦環工藝組件和甚低壓氣體抽運系統等。 Primo SSC AD-RIE有利於處理多層薄膜刻蝕的微負載問題、極端邊緣描摹問題以及接觸孔刻蝕的終端节造問題。 Primo SSC AD-RIE已在主流客戶16納米晶片生產線上穩定量產。

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Primo SSC AD-RIE®

為26到10納米晶片製造提供創新的刻蝕解決规划

產品特點

拥有獨立氣體輸運系統的单眼應臺腔體設計

多區氣體調節以及雙區靜電吸盤溫度节造

高抽氣率,大容量分子泵

雙級同步脈衝射頻系統(低頻和高頻)

可冷卻聚焦環工藝組件,提升晶圓邊緣效力

高高低電極面積比,以應用於深邃寬比結構刻蝕

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競爭優勢

高電介質資料刻蝕速度,多伎俩刻蝕均勻度調節

雙級同步脈衝射頻系統

先進氣體抽運系統,以進一步擴大工藝視窗

中深邃寬比結構

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