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糖果派对网站拥有自主知識產權的MOCVD設備Prismo HiT3 ?, 是適用於高品質氮化鋁和高鋁組分資料生長的關鍵設備,反應腔最高溫度可大達1400攝氏度,單爐可生長18片2英寸表延片,並可延长到4英寸晶片。 糖果派对网站高溫MOCVD設備Prismo HiT3專為深紫表LED量產而設計,是現時業內紫表LED產能先進的高溫MOCVD設備。

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Prismo HiT3®

用於深紫表LED表延片量產的MOCVD設備

產品特點

適用於高溫氮化鋁和深紫表LED生長的關鍵設備

優异均勻性和高效力相結合

適合高晶體質量和高AIN生長速度的新穎腔體設計

創新的即時監控系統

工藝溫度最高可達1400度,拥有優异的溫場均勻性和节造穩定性

拥有高穩定性、自動化的真空傳送系統,抑造顆粒的產生

介面敦睦、全自動化的作業系統

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競爭優勢

優异的工藝沉複性,簡化工藝調整需要,提高產品良率

單爐可生長18片2英寸表延晶片,拥有較低的生產成本

集成頂蓋起落機构,簡化設備維護,提高設備利用率

業界領先的UVC

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