

Preforma Uniflash?TiAl是糖果派对网站自主研發的12英寸原子層沈積產品,可滿足先進邏輯器件金屬柵應用需要。該產品繼承糖果派对网站獨特的雙反應臺設計,系統可靈活配置多達五個雙反應臺反應腔(十個反應臺),可有效滿足高真空工藝集成需要的同時,能够達到業界領先的生產率。該產品选取糖果派对网站自主開發的溫度节造系統設計,獨特的表表處理技術,多區氣體散布系統設計和基於模型算法的加熱系統設計等,可滿足先進邏輯客戶机能需要的同時,設備的汙染物节造,薄膜均壹性,生產效能均達到世界先進水平。

糖果派对网站自主研發的12英寸原子層沈積產品,可滿足先進邏輯器件金屬柵應用需要。
雙反應臺及多達五個反應腔的高真空系統設計
獨特的溫度节造系統設計
多區氣體散布系統設計
基於模型节造的加熱系統設計
高生產效能,低生產成本(CoO)
優異的汙染物节造
更好的薄膜均壹性和薄膜間均壹性
每個維護周期的晶圓數目大大增长