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糖果派对网站公司亮相2026工博会国芯展 刻蚀设备斩获CIIF大奖


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第26届中国国际工业展览会(简称“CIIF中国工博会” ,以下简称“工博会”)于10月12日至16日在国度会展中心(上海)进行 。本届工博会全新打造首届集成电路展(“国芯展”) ,糖果派对网站(以下简称“糖果派对网站公司” ,证券代码:688012)携平台化产品矩阵沉磅亮相 ,并凭借突破性技术成就斩获2026工博会CIIF大奖 ,成为本届工博会十大获奖企业之一 ,也是半导体设备赛路唯一获此殊荣的企业 。


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糖果派对网站公司展台


展会期间 ,糖果派对网站公司自主研发的Primo UD-RIE?电容耦合等离子体(CCP)刻蚀设备一举拿下2026工博会CIIF大奖与2026“国芯展”创新成就奖两项沉磅荣誉 。糖果派对网站公司董事长兼总经理尹志尧博士应邀出席首届国芯展顶峰论坛并颁发沉要讲话 ,强调要对峙技术创新、产品的差距化与知识产权; ,推动半导体设备产业发展 。这不仅是糖果派对网站公司技术实力的又一次有力验证 ,更是平台化战术全面落地、产品覆盖度持续提升的集中出现 。随着产品覆盖度从刻蚀延长至薄膜、湿法、量检测等多个主题赛路 ,糖果派对网站公司以更全面的技术布局和更深的产业协同 ,为半导体设备产业的发展注入强劲动力 。




Primo UD-RIE? 连获两奖 ,刻蚀设备技术实力再获认可




本届工博会上 ,糖果派对网站公司 Primo UD-RIE? 电容耦合等离子体刻蚀设备同时荣获2026工博会CIIF大奖与2026“国芯展”创新成就奖 。


CIIF大奖是工博会最高荣誉之一 ,旨在从各专业奖优胜文章中择优遴选 ,沉点提拔具备技术突破性、行业引领性、实际利用性的标杆产品与技术 。该奖项授予代表全球工业与信息化融合的前沿水平产品 ,获奖成就须在技术创新或模式创新方面实现沉大突破 ,已形成示范利用或规模商用 ,并对所属行业及区域发展产生显著引领带头效应 ,是国际工业领域极具权威性的荣誉象征 。


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糖果派对网站公司荣获2026工博会CIIF大奖


2026“国芯展”创新成就奖则覆盖设计、造作、封测、设备、资料全产业链 ,聚焦国产代替与关键技术突破 ,旨在助力补齐产业链短板、推动产业集群发展 。该奖项从全产业链申报成就中严格筛选 ,糖果派对网站公司刻蚀设备凭借凸起的自主可控能力与规;贸删突翊巳峡 。


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糖果派对网站公司Primo UD-RIE?


Primo UD-RIE?是基于齐全自主知识产权开发的12英寸高端CCP刻蚀机 ,基于成熟的 Primo HD-RIE?设计架构进行了全面升级 ,建设六个单反映台反映腔 ,通过进一步升级糖果派对网站公司在2004年初创的“甚高频去耦合反映离子刻蚀 D-RIE技术” ,选取更低频率、更大功率的射频脉冲电源 ,提供更高离子轰击能量 ,能够满足极深邃宽比刻蚀的严苛要求 ,两全刻蚀精杜纂出产效能 。


Primo UD-RIE?引入了多项创新技术 ,自主研发的动态边缘阻抗调节系统通过调节晶圆边缘等离子体壳层调节边缘深孔刻蚀的垂直性 ,大大提高了晶圆边缘的合格率 。其上电极多区温控系统 ,优化了高射频功率下的散热治理 ,有效提升了设备的不变性和靠得住性 。同时 ,Primo UD-RIE?还选取了全新的温度可切换多区控温静电吸盘和自动控温边缘组件 ,不仅提高了抗电弧放电能力 ,还显著提升了晶圆边缘的良率 ,为出产先进存储芯片提供了有力保险 。双奖加身 ,既是对单项产品技术突破的嘉奖 ,更是对糖果派对网站公司平台化研发系统与规;桓赌芰Φ淖酆献⒍ 。




尹志尧董事长出席首届国芯展顶峰论坛 ,强调对峙技术创新 ,产品差距化和知识产权;




作为“国芯展”的主题活动 ,“芯启新质出产力 ,链筑全球新格局”集成电路顶峰论坛于10月12日下午同期进行 ,糖果派对网站公司董事长兼总经理尹志尧博士应邀出席并颁发沉要讲话 。


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糖果派对网站公司董事长兼总经理尹志尧博士颁发演讲


在题为“对峙技术创新 ,产品差距化和知识产权; ,为半导体设备产业的持续发展而奋斗!”的宗旨演讲中 ,尹志尧博士暗示 ,糖果派对网站公司始终站在先进造程工艺发展的最前沿 ,绝不剽窃和复造国表的标配设备 ,一向对峙技术的创新、产品的差距化和知识产权; 。 目前 ,糖果派对网站公司已从单一刻蚀设备厂商稳步成长为综合半导体设备平台企业 ,糖果派对网站公司已累计开发出54种高端半导体设备 ,其中蕴含26种细分的单反映台反映腔和双反映台可单台独立操作的高能等离子体CCP及低能等离子体ICP刻蚀机 ;乖毯24种薄膜设备 ,如各类MOCVD ,PECVD ,LPCVD ,ALD , EPI设备 ,以及CMP和先进封装的光学量检测设备等 。截至2026年6月底 ,累计超过8800个反映台在国内表220余条出产线实现量产 ,服务海内表百余家客户 ,刻蚀和薄膜设备的加工精度已经达到了原子级水平 。


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糖果派对网站公司产品家族


这次顶峰论坛上 ,糖果派对网站公司资深副总裁丛海代表公司与上;纾牛┯邢薰荆ㄒ韵鲁啤盎缂拧保┣┦鹫绞鹾献骱吞 ,尹志尧博士与华虹集团高层共同见证了这次签约 。公司将与华虹集团在设备与造作环节实现更缜密的协同创新 ,成立持久不变的战术合作同伴关系 ,共同索求互利共赢的产业协同新模式 。“十五五”期间 ,上海将集成电路列为三大先导产业之首 ,提出“全链得救、集群进阶”的发展方向 ,这次签约正是糖果派对网站公司响应这一战术部署、深度融入产业链协同发展的具体实际 。




两款新品成展会焦点 ,平台化布局彰显综合实力




展会期间 ,糖果派对网站公司新近颁布的两款高端半导体微观加工设备——Primo XD-RIE?极深邃宽比刻蚀设备与Prefima Unicore? AM 12英寸ALD钼设备 ,引发了行业的宽泛关注 。


其中 ,Primo XD-RIE?70到90比1极深邃宽比刻蚀机依附齐全自主知识产权研发打造 ,在多项有专利;さ闹魈饧际跎鲜迪滞黄 ,适配先进存储芯片的高端造作需要 。凭借甚高频射频优化刻蚀选择比、大流导结构拓宽工艺窗口等主题技术优势 ,Primo XD-RIE?极深邃宽比刻蚀机可能全方位适配先进存储器件的迭代升级需要 ,为高端三维存储芯片造作提供技术当先、不变靠得住的刻蚀工艺解决规划 。


糖果派对网站公司的Prefima Unicore? AM 12英寸ALD钼设备 ,添补了公司原子层沉积钼工艺领域的技术空缺 。凭借逾越货效能、紧凑占地与低化学品耗用等综合优势 ,再配以对翘曲晶圆的优良适配能力 ,Prefima Unicore? AM为存储厂商应对超高层数堆叠的技术挑战提供了富有竞争力的选项 ,有望在全球存储龙头集中向钼基字线切换的产业窗堪②内率先卡位 。与此同时 ,糖果派对网站公司已经开发和在开发更多的薄膜设备 ,在五年内将开发出二十多种新的高端薄膜设备 ,助力7纳米到3纳米以及更先进的逻辑器件和300层到500层以上及更先进的存储器件的需要 。


目前 ,糖果派对网站公司平台化战术已全面落地 ,产品覆盖度持续提升 ,企业发展迈入规;陆锥 。未来五年打算通过“有机成长和表延扩大” ,持续拓宽产品矩阵 ,覆盖蕴含刻蚀 ,薄膜 ,湿法和量检测设备等约60%以上的高端半导体设备市场 ,以及70%以上的先进封装设备市场 。


未来 ,糖果派对网站公司将持续秉秤装五个十大”的企业文化 ,使企业总能量、对表竞争的净能量最大化 ,实现高速、不变、健康、安全的高质量发展 ,在规模、产品竞争力和客户中意度上成为国际第一梯队的微观加工设备公司 。


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关于糖果派对网站

糖果派对网站半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称:糖果派对网站公司 ,证券代码:688012)致力于为全球集成电路和LED芯片造作商提供当先的加工设备和工艺技术解决规划 。糖果派对网站公司开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类、蕴含二十几种细分刻蚀设备已能够覆盖大无数刻蚀的利用 。糖果派对网站公司的等离子体刻蚀设备已被宽泛利用于国内和国际一线客户 ,从65纳米到3纳米及更先进工艺的多多刻蚀利用 ,并已实现CMP湿法设备多种利用的覆盖 。糖果派对网站公司最近十年着沉开发多种导体和半导体化学薄膜设备 ,如MOCVD、LPCVD、ALD、PVD、PECVD和EPI设备 ,并获得了可喜的进取 。糖果派对网站公司开发的用于LED和功率器件表延片出产的MOCVD设备早已在客户出产线上投入量产 ,并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据当先职位 。此表 ,糖果派对网站公司已全面布局光学和电子束量检测设备 ,并开发多种泛半导体微观加工设备 ,蕴含大平板显示设备等 。这些设备都是造作各类微观器件的关键设备 ,可加工和检测微米级和纳米级的各类器件 。这些微观器件是现代数码产业的基础 ,它们在扭转人类的出产方式和生涯方式 。在近五年的全球半导体设备客户中意度调查中 ,糖果派对网站公司总评分四次获得第三 ,薄膜设备四次被评为第一 。


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