作为糖果派对网站公司自主研发的具备三维填充能力的12英寸原子层金属钨沉积设备 ，Preforma Uniflex? AW继承了钨系列产品的特点 ，可配置五个双反映台反映腔 ，有效提高设备出产效能。此表 ，系统中每个反映腔均可用于形核和主体膜层成长 ，可凭据客户现实工艺需要优化配置 ，进一步提逾越产中的设备利用率。Preforma Uniflex? AW选取齐全自主知识产权的高速气体切换节造系统 ，可精准节造工艺过程 ，实现精准的原子级别成长 ，因而所成长膜层具备优异的台阶覆盖率和低杂质浓度的利益。Preforma Uniflex? AW还引入怪异的气体输送系统 ，进一步提升机能 ，使该设备具备更先进技术节点的延展能力。该设备也继承了糖果派对网站公司自主开发的流场热场优化设计 ，从而提升薄膜均一性和工艺调节矫捷性。
可配置五个双反映台反映腔 ，有效提高设备出产效能。
双反映台及多达五个反映腔的系统
独立紧凑的反映空间
糖果派对网站专利的气体切换系统
高效矫捷的工艺调节窗口
自主设计的真空卡盘加热台
逾越产效能 ，低出产成本 ，低化学品亏损
优良的薄膜均一性和工艺不变性
优良的三维结构及复杂结构填充机能
对弯曲度较大的晶圆也拥有优良的工艺处置能力
