作为糖果派对网站公司自主研发的具备超深邃宽比及复杂结构钨填充能力的12英寸Preforma Uniflex? HW设备，该设备继承了前代Preforma Uniflex? CW设备的利益，可矫捷配置多达五个双反映台的反映腔，每个反映腔皆能同时加工两片晶圆，在保障较低出产成本的同时，实现较高的出产效能 。Preforma Uniflex? HW选取齐全自主知识产权的成长梯度抑造工艺，可实现表表从钝化主导到刻蚀主导的精准工艺调控 。硬件上，糖果派对网站公司开发的可实现钝化功夫从毫秒级到千秒级的节造系统，可满足多种复杂结构的填充 。此表，搭配经过优化设计的流场热场系统，使该设备具备优异的薄膜均一性和工艺调节矫捷性 。
可矫捷配置多达五个双反映台的反映腔，每个反映腔皆能同时加工两片晶圆 。
双反映台反映腔及多达五个反映腔的系统
独立紧凑的反映空间
高效矫捷的工艺调节窗口
自主知识产权精准抑造工艺设计
自主设计的真空卡盘加热台
逾越产效能，低出产成本，低化学品亏损
优良的薄膜均一性和工艺不变性
优良的深邃孔填充能力和较强的分歧复杂结构兼容适配性
对弯曲度较大的晶圆也拥有优良的工艺处置能力
