作为糖果派对网站公司自主研发的产出效能高且机能优良的12英寸CVD金属钨设备，Preforma Uniflex? CW可矫捷配置多达五个双反映台的反映腔，每个反映腔皆能同时加工两片晶圆，在保障较低的出产成本和化学品亏损的同时，实现较高的出产效能。Preforma Uniflex? CW建设了齐全占有自主知识产权的优化混气规划,自主设计优化的吩禅抽气系统和真空卡盘，拥有优良的薄膜均一性、填充能力和工艺调节矫捷性，对于弯曲度较大的晶圆，它也具备优良的工艺处置能力。并且其优异的阶梯覆盖率和填充能力，能够满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充利用需要。
为逻辑和存储芯片中金属钨填充提供的高性价比的解决规划
双反映台及多达五个反映腔的系统
独立幼巧的反映空间
高效矫捷的工艺调节窗口
自主知识产权的优化混气规划
自主设计的优化气体分配的抽气系统
自主设计的优化真空卡盘的加热台
逾越产效能，低出产成本，低化学品亏损
优良的薄膜均一性和填充能力
优良的工艺适应性和兼容性
对弯曲度较大的晶圆也拥有优良的工艺处置能力
