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糖果派对网站公司喜迎ICP刻蚀设备Primo nanova®系列第500台付运里程碑


近日  ,糖果派对网站半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“糖果派对网站公司”)的电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备Primo nanova?系列第500台反映腔顺利付运国内一家先进的半导体芯片造作商。这是糖果派对网站公司的又一沉要里程碑  ,标志取ICP刻蚀设备的刻蚀机能、机台不变性和大规模量产能力已得到先进逻辑和存储客户的宽泛认可。本批次运付的ICP刻蚀设备Primo nanova?系列产品  ,均来自该客户的沉复订单。


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ICP刻蚀设备Primo nanova?系列第500台反映腔付运典礼现场


       这次付运的Primo nanova?是糖果派对网站公司针对先进的工艺节点与出产线的各类关键利用  ,基于电感耦合(ICP)技术研发的12英寸刻蚀设备  ,合用于先进的逻辑芯片、DRAM存储芯片以及3DNAND存储芯片的刻蚀。

Primo nanova?最多可配置六个刻蚀反映腔和两个可选的除胶反映腔。其中  ,刻蚀反映腔选取对称设计  ,拥有高反映气体通量  ,其内部涂有的高致密性、耐等离子体侵蚀资料  ,削减刻蚀的负载效应并保障了更高的工艺沉复性和出产率。此表  ,Primo nanova?发射天线的低电容耦合 3D线圈设计  ,可实显旖均的等离子密度  ,削减等离子体对陶瓷顶盖的轰击。Primo nanova?的下电极选取了可实现多区动态温控的静电吸盘  ,或可选用能实现更多区域温度调节的 Durga 静电吸盘  ,使其加工的晶圆内的关键尺寸达到高度均匀性?突О凳痉浅?闯罰rimo nanova?在大规模出产中不变靠得住的机能阐发、显著提升的出产率和相对较低的出产成本等方面的优势。


凭借怪异的创新技术和差距化设计  ,糖果派对网站公司等离子体刻蚀设备不休扩大市场占有率  ,在国内表半导体前路设备行业占据当先职位。2023年  ,糖果派对网站公司交易收入约62.64亿元  ,较2022年增长约15.24亿元  ,同比增长约32.15%。其中  ,2023年刻蚀设备收入约47.03亿元  ,同比增长约49.43%。占公司交易收入约 75.1% 的刻蚀设备在2021年和2022年别离增长了55.4%和57.1%。公司2023年新增订单总金额约83.6亿元  ,较2022年增长约20.4亿元  ,同比增长达32.3%  ,其中刻蚀设备新增订单达69.5亿元  ,同比增长约60.1%。此表  ,糖果派对网站公司综合竞争优势不休加强  ,各项营运KPI指标已达到并在一些方面超过了国际先进半导体设备企业水平。在从前的十年中  ,糖果派对网站公司的交易收入一向以高于35%的年均匀增长速度持续增长。


糖果派对网站公司副总裁、ICP产品部总经理陈煌琳谈及这一付运里程碑时暗示  ,糖果派对网站公司始终紧跟先进造程工艺发展的最前沿  ,对峙原创创新设计  ,和国际当先的半导体客户公司同步前行。糖果派对网站公司总结过往经验形成的“四个十大”的企业文化中  ,“产品开发的十大准则”首要强调的就是 “为达到设备的最高机能和客户最严要求而开发”。正是糖果派对网站公司确当先技术及专业服务使糖果派对网站刻蚀设备产品赢得了厂商的青睐  ,这是一种荣誉  ,更是一种动力。未来  ,我们也将持续为客户和市场提供机能优越、逾越产效能和高性价比产品  ,不休推进技术创新、引领行业发展的同时援手客户实现技术和盈利指标。



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