近日，糖果派对网站（以下简称“糖果派对网站公司”，股票代码：688012）的电容耦合高能等离子体（CCP）刻蚀设备第2000个反映台顺利付运国内一家当先的半导体造作商，这是糖果派对网站公司CCP刻蚀设备的又一沉要里程碑，也是迈向新指标的关键一步。本批次运付客户的CCP刻蚀设备反映台有Primo AD-RIE?及Primo HD-RIE?系列产品，均来自该客户的沉复订单。
本次运付的Primo AD-RIE-e是糖果派对网站第二代电介质刻蚀产品Primo AD-RIE?的子产品。Primo AD-RIE-e不仅具备Primo AD-RIE?可切换双低频射频源、可矫捷装置多达六个反映台的高效设计，还建设了自主研发的四区动态静电吸盘，每一造程步骤均可独立进行控温，实现了更高的刻蚀均匀度和刻蚀选择比 ？突Х浅 ？闯粮蒙璞冈诖蠊婺３霾胁槐淇康米〉幕懿ⅰ⑾灾嵘某霾屎拖喽越系偷某霾杀痉矫娴挠攀。Primo AD-RIE-e将利用于5纳米及以下的前段和中段的掩膜层刻蚀的开发及量产，为客户提供创新的刻蚀解决规划。
此表，该交付批次的Primo HD-RIE?拥有六个单反映台腔体的系统，定位于为中深邃宽比刻蚀提供综合解决规划。Primo HD-RIE?拥有高同步脉冲射频功率，建设了高功率高温静电托盘和可冷却聚焦环工艺组件，在气体脉冲、多区气体调节、上电温度节造等方面机能凸起。Primo HD-RIE?在3D-NAND 及DRAM中深邃宽比沟槽及深孔刻蚀上阐发优异，在一些关键造程上已实现量产。
自2007年首台CCP刻蚀设备Primo D-RIE?颁布以来，糖果派对网站公司不休拓展CCP刻蚀设备产品线，以满足客户日益严苛的技术需要。除Primo D-RIE?双反映台刻蚀设备以表，CCP刻蚀设备系列还蕴含双反映台刻蚀设备Primo AD-RIE?、单反映台刻蚀设备Primo SSC AD-RIE?、Primo HD-RIE?和刻蚀及除胶一体化的 Primo iDEA?。这些产品为客户提供了全面综合的设备解决规划，用于65纳米至5纳米及以下工艺的多种利用。糖果派对网站公司的刻蚀设备产品线还蕴含其他两款电感耦合低能等离子体（ICP）刻蚀设备和硅通孔（TSV）刻蚀设备。
糖果派对网站公司等离子体刻蚀设备怪异的创新技术和不休急剧增长的市场占有率坚韧了其在国内表半导体前路设备行业确当先职位，并推动公司持续发展。在2021年比2020年整年新增订单金额增长90.46% 达到41.29亿元、交易收入增长36.72% 达到31.08亿元的基础上，2022年公司上半年新签定单金额同比增长61.83% 达到30.57亿元，交易收入同比增长了47.30% 达到19.72亿元，扣非归母净利润同比增长了615.26% 达到4.41亿元，其中刻蚀设备收入为12.99亿元，较去年同期增长约51.48%。
糖果派对网站公司集团副总裁兼介质刻蚀产品部总经理苏兴才谈及这一付运里程碑时暗示，糖果派对网站公司在产品开发、设计和造作过程中，始终强调创新和差距化，通过持续的技术创新为客户提供先进的产品解决规划。正如糖果派对网站“四个十大”的企业文化钟装产品开发的十大准则”里我们首要强调的 “为达到设备的最高机能和客户最严要求而开发”，始终对峙“三全”质量治理模式，将三沉保险贯通于产品性命周期的每一个环节。正是糖果派对网站公司的创新技术和世界一流的专业技术使糖果派对网站刻蚀设备产品备受当先厂商的青睐，我们为能援手客户实现技术和盈利指标感应高慢。
