糖果派对网站第二代等离子体刻蚀设备初次在中国试运装置；用于32纳米至28纳米芯片加工
糖果派对网站半导体设备有限公司（以下简称“糖果派对网站”）于 SEMICON China 展会期间颁发，糖果派对网站第二代等离子体刻蚀设备 Primo AD-RIE? 正式装配国内技术先进的集成电路芯片代工企业中芯国际，用于32纳米至28纳米及更先进的芯片加工。这是继去年 SEMICON West 展会期间 Primo AD-RIE? 正式颁布以来，糖果派对网站 Primo AD-RIE? 设备初次进入中国大陆客户出产线。目前，糖果派对网站第一代等离子体刻蚀设备 Primo D-RIE? 已在中国成立了不变的市场职位。Primo AD-RIE? 设备也已进入台湾客户的出产线。
到目前为止，糖果派对网站的刻蚀设备已进入11家客户的14条芯片出产线，客户涵盖中国大陆、台湾、新加坡和南韩等地的整合器件造作商（IDM）、晶圆代工厂、芯片封装厂等。这其中也蕴含糖果派对网站近日颁布的 TSV 硅通孔刻蚀设备 Primo TSV200E?，为糖果派对网站启发了新的市场。综合来看，糖果派对网站的设备均占有出产率高、工艺机能杰出、操作轻便、成本竞争优势显著蹬着点。随着亚洲地域对半导体设备的需要日渐增长，糖果派对网站不休拓展产品线使之日趋多元化，从而迈入了急剧发展的轨路，2011年糖果派对网站的销售额较2010年增长了两倍多。同时，为了满足企业自身发展的需要，糖果派对网站位于上海的二期大楼也将竣工，届时将增长10,000平方米的出产基地。
Primo AD-RIE? 设备是糖果派对网站第二代甚高频去耦合等离子体刻蚀设备，可满足多种关键出产工艺要求。继第一代已被业界宽泛认可的 Primo D-RIE? 之后，Primo AD-RIE? 选取了更多技术创新点，以解决出产复杂的22纳米至14纳米芯片所带来的挑战，同时确保芯片加工的质量。这些技术创新点蕴含：可切换频率的射频系统保障了刻蚀的矫捷性和可沉复性，更好的调谐能力确保了超精密关键尺寸的均匀度和可沉复性，改进的反映室室内资料削减了工艺缺点并降低了成本亏损。
“我们很欣喜糖果派对网站在中国的第一台 Primo AD-RIE? 设备能进入国内当先的晶圆代工厂，”糖果派对网站副总裁兼刻蚀产品事业群总经理朱新萍说路，“与糖果派对网站第一代产品类似，Primo AD-RIE? 设备的单元投资产出率比市场上其他同类设备提高了30%以上，占地面积较其他同类设备削减了30%以上，并能使加工晶圆的成本降低20%至40%，Primo AD-RIE? 设备已成为市场上出产率较高、单元投资产出率较高的先进刻蚀设备，用于各类关键及通常的工艺利用。”
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关于糖果派对网站半导体设备有限公司
公司致力于为全球芯片出产厂商和有关高科技领域的世界当先公司提供一系列高端的芯片出产设备。公司占有业内经验最丰硕的治理和技术专家，已形成强有力的市场驱动力，持续拓展产品线以满足各类新兴的技术需要？突д鞘褂昧颂枪啥酝鞠冉目淌瓷璞负图际，造作了电子产品中最为关键的芯片器件。糖果派对网站的高端设备在65、45、32、28、22纳米及以下的芯片出产领域实现了技术创新和出产力提高的最优化。糖果派对网站公司以亚洲为基地，总部位于中国，其研发、造作、销售和客户服务机构遍布日本、南韩、新加坡、中国台湾等地。
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