




推出低成本高产能的MOCVD设备,用于发光二极管、硅基氮化镓出产
鄙人周即将进行的 SEMICON China 展会期间,糖果派对网站半导体设备(上海)有限公司(以下简称“糖果派对网站”)将正式颁布多反映器金属有机化合物气相沉积设备(MOCVD),并初次进入半导体照明市场。Prismo D-Blue? MOCVD 设备能够实现复杂的氮化镓、铟镓氮、铝镓氮超薄层结构的大批量出产,这些超薄层结构对于高亮度 LED 是必须的。糖果派对网站的 MOCVD 设备不仅拥有精准的参数节造、全自动化处置和怪异的紧凑设计等特点,并且占有逾越产率、高产能和低成本投入,是 LED 芯片造作过程中必不成少的新一代 MOCVD 设备。
目前,糖果派对网站已有 MOCVD 设备在国内一家驰名的 LED 厂家运行。
硬件优势:糖果派对网站拥有自主知识产权的 MOCVD 设备能够包容多达4个反映器,每个反映器都能够独立节造。这一创新设计能够实现卓越的出产矫捷性。它也是该类设备中唯一带有这一个性的产品,也就是说,糖果派对网站的 MOCVD 设备能够以并行或者串行模式运行,这就削减了交叉传染,并且保障了晶体的高质量,这是先进的 LED 器件所必须的。糖果派对网站的MOCVD设备在占地面积上也有相当的优势,它比竞争者的单反映器机台的占地面积幼了近30%,因而,Prismo D-Blue对于目前的 LED 芯片出产线无疑是占地面积更幼的绝佳选择。
设备优异,市场辽阔,机遇成熟:进入半导体照明市场对于糖果派对网站而言是水到渠成的一步。作为一个新兴的创新领军者,糖果派对网站为全球半导体造作商提供了先进的工艺技术和设备。目前,糖果派对网站已有超过200个刻蚀反映台在亚洲16条国际当先的半导体出产线上运行。糖果派对网站在硅技术上堆集的丰硕经验和工艺知识,以及它严谨的研发和谈和资料工程布景,造就了一系列半导体造作前端设备。此刻,糖果派对网站又将这些使用在了 Prismo D-Blue 的研发上。糖果派对网站新的 LED 客户还将受益于公司严格的供给商治理和谈。
此刻对于一个新的 MOCVD 设备造作商来说也是一个优良的发展机遇,尤其对于研发和造作中心在上海的造作商来说。凭据法国市场钻研机构 Yole Development 预测,到2017年,MOCVD 设备的市场规模预计将达到43亿美元。中国在全球造作业中仍将占主导职位。灯泡价值将着落,LED 照明将取代传统白炽灯。灯泡变得更便宜,当然就意味着 LED 造作商能获取的利润更收缩,这就使得设备造作商提逾越产效能比以往任何时辰都显得尤为沉要。糖果派对网站的 MOCVD 设备拥有极高的出产效能,在这样的市场环境中则更显其优势。
“进入半导体照明市场是公司发展战术中的一个沉要组成部门,”糖果派对网站资深副总裁兼 MOCVD 产品事业群总经理杜志游博士说,“我们专业的 MOCVD 技术团队成立了一个优势显著、极具矫捷性的 MOCVD 平台,它拥有其怪异创新性,能够解决复杂技术和出产方面带来的挑战。可能为客户提供高产能低成本的技术,用于他们先进的 LED 器件造作,对此我们感应极度兴奋。”
Prismo D-Blue拥有卓越的工艺机能和出产效能:糖果派对网站的 Prismo 机台能够同时加工216片2英寸晶圆。它的工艺能力还能延展到成长4英寸、6英寸和8英寸表延晶片。除了拥有多反映器结构的利益能够使其加工矫捷性达到较大化以表,Prismo D-Blue 在每个关键机能指标上的阐发都极度杰出。在马拉松测试中,它阐发出了优异的片内和片与片之间的均匀性以及很好的沉复性。这些了局都是在整个表延晶片加工的过程中未作任何工艺参数调整而得出的。表延晶片加工的过程对于反映腔室表表的前提、化学气体环境、温度转换节造和其他可造成分都极为敏感,因而在这种加工过程中,能达到持续的沉复性的确有它独到的一面。
在上述马拉松测试中,Prismo D-Blue 从未产生过任何异常中断,糖果派对网站通过对工艺参数现场实时的监控实现了高靠得住性。这种高靠得住性还得益于一系列复杂的软件法式、先进的传输?椤⒘鞒套远徒谠旒际。这些同样也是使得糖果派对网站的半导体前端加工设备被业界广为认可的技术。
Prismo D-Blue 还被进一步优化以方便用户更易操作与守护。这对于一个发展迅速并看沉成本的 LED 芯片造作商来说是至关沉要的。卓越的加工机能和正?稍诵泄Ψ蚰芄焕蠓务之间的差距,而新鲜的设计特点则可能使得设备守护越发轻便易行。同时,自动化、可编程的守护法式使得反映腔开关操作越发安全、快捷、可预测并且不易犯错。
Prismo D-Blue 目前已占有100多项专利(蕴含授权和未授权专利)以;て涔忠斓拇葱滦。此表,它还遵循了半导体造作规定并齐全切合 SEMI 尺度。
糖果派对网站公司将于SEMICON China展会期间召开 Prismo D-Blue 产品颁布会,仅限受邀者参与。详情请联系 Lorentz Tsai(lorentztsai@amecnsh.com)。
rismo D-Blue 是糖果派对网站公司已申请的注册商标。
关于糖果派对网站半导体设备(上海)有限公司
糖果派对网站公司致力于为全球芯片出产厂商和有关高科技领域的世界当先公司提供一系列高端的芯片出产设备。公司目前重要提供等离子体刻蚀设备和硅通孔(TSV)刻蚀设备,用于国际一线客户22纳米及以下的芯片加工造作。目前,糖果派对网站已有200多个刻蚀反映台在亚洲地域多多国际当先的出产线上运行。
更多信息请接见公司网站:www.amec-inc.com

