糖果派对网站Primo SSC AD-RIE?已被客户用于16纳米关键闪存芯片加工的首选设备
上海和首尔2014年2月12日电 /美通社/ -- 糖果派对网站半导体设备有限公司（简称“糖果派对网站”）颁发获得韩国先进存储芯片出产厂商采办Primo SSC AD-RIE?（糖果派对网站单反映台等离子体刻蚀设备）的沉复订单。该设备被客户认可为用于16纳米关键闪存芯片加工的首选设备（PTOR），将用于大批量芯片出产。此前，糖果派对网站的Primo SSC AD-RIE?通过客户出产线上严格的验证，获得了比其他同类竞争产品越发优异的了局。糖果派对网站此刻在和客户合作钻研开发DRAM和3D NAND工艺。
糖果派对网站单反映台等离子体刻蚀设备Primo SSC AD-RIE(TM)
糖果派对网站副总裁兼韩国区总经理尹敬一暗示，糖果派对网站设备成为“PTOR”标志取糖果派对网站获得了一项沉猛进展，他说路：“很显著，此刻处于世界前沿的客户不单单想从供给商那儿寻找新设备，他们还但愿可能为复杂的出产过程带来的挑战追求全面解决规划。这就要求先进技术和有关专业知识缜密联系在一路，正是依附这种模式，我们为该客户解决了出产过程中际遇的各类问题，使得客户的闪存芯片开发获得新的进展。”
Primo SSC AD-RIE?是糖果派对网站Primo系列第三代、也是最新一代刻蚀设备产品，可能满足超高产能、优异的芯片加工质量和芯片刻蚀技术可延展性等严苛的技术要求。Primo SSC AD-RIE?的晶圆传递平台可配置多达6个单晶圆加工反映器，每个反映器能够独立地设定加工前提，从而矫捷地实现精准的工艺节造。每个反映器有极高的抽速，并有多区气体散布、动态射频功率以及多区温度节造等可独立调节的工艺参数。而在线工艺微和谐不变的腔体设计预防了深邃宽比刻蚀工艺中常出现的刻蚀终场景象以及工艺飘移景象的产生，从而提高刻蚀的沉复性并更容易实现反映器之间的优良匹配，可能大大提逾越产效能。
糖果派对网站刻蚀设备的一大关键优势在于它的配置极具矫捷性。它在统一个主机系统上能够建设双反映器实现高产出和低成本，或者也能够建设单反映器以满足关键刻蚀工艺中高抽速等要求。这种配置的矫捷性还体此刻气体节造系统的装置上，他们既能够置于地面以便于守护，也能够置于设备上方以削减占地面积。
Primo SSC AD-RIE和Primo D-RIE是糖果派对网站的注册商标。
关于糖果派对网站半导体设备有限公司
糖果派对网站公司致力于为全球半导体和LED芯片造作商提供当先的工艺技术解决规划。公司等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已宽泛利用于国际一线集成电路客户45纳米到1X纳米及更先进的芯片加工造作等。目前，糖果派对网站已有240多个刻蚀反映机台在亚洲地域20多条国际当先的出产线上运行。糖果派对网站开发的用于大批量LED表延片出产的MOCVD设备也已进入出产线运行。
