糖果派对网站半导体设备（上海）有限公司（以下简称“糖果派对网站”）在本周进行的SEMICON China期间正式颁布了第一代电感耦合等离子体刻蚀设备Primo nanova?，用于大批量出产存储芯片和逻辑芯片的前路工序。该设备选取了糖果派对网站拥有自主知识产权的电感耦合等离子体刻蚀技术和很多创新的职能，以援手客户达到芯片造作工艺的关键指标，例如关键尺寸（CD）刻蚀的精准度、均匀性和沉复性等。其创新的设计蕴含：齐全对称的反映腔，超高的分子泵抽速；怪异的低电容耦合线圈设计和多区细分温控静电吸盘（ESC）。凭借这些个性和其他怪异职能，该设备将为7纳米、5纳米及更先进的半导体器件刻蚀利用提供比其他同类设备更好的工艺加工能力，和更低的出产成本。
糖果派对网站Primo nanova?刻蚀机已获得多家客户订单，设备产品已陆续付运。糖果派对网站首台Primo nanova?设备已在客户出产线上正常运行，良率不变。目前公司在和更多客户合作，进行刻蚀评估。在糖果派对网站提供了一系列电容耦合等离子体刻蚀设备之后，这一电感耦合等离子体刻蚀新设备大大加强了糖果派对网站的刻蚀产品线，能涵盖大无数芯片前段的刻蚀利用。 当今芯片造作所选取的新资料、新的器件结构、双沉模板以至四沉模板工艺和其他新的技术在推动器件尺度的不休缩幼，这使得芯片的造作越来越复杂。糖果派对网站开发Primo nanova? 时，充分思考了在这种刻薄的加工环境中，若何使刻蚀达到在晶圆片内更好的刻蚀均匀性和实时的节造能力、为芯片造作提供更宽的工艺窗口，以达到客户日益提高的技术要求，并实现较低的造作成本。
“Primo nanova?选取了当下先进的等离子体刻蚀技术，为前沿客户提供更具创新、更矫捷的解决规划。”糖果派对网站副总裁兼等离子体刻蚀产品部总经理倪图强博士说路，“该设备不仅可能用于多种导体刻蚀工艺，好比浅沟槽隔离刻蚀（STI）、多晶硅栅极刻蚀；同时可用于介质刻蚀，如间隙壁刻蚀（Spacer Etch）、掩？淌矗∕ask Etch）、回刻蚀（Etch Back）等，拥有业界当先的出产率和卓越的晶圆内加工机能。这项基于电感耦合等离子体的刻蚀技术既能够用于刻蚀垂直深孔，也能够用于刻蚀浅锥形概括。此表，由于这个设备占地面积幼、削减了耗材的使用，有相当大的成本优势。我们极度欣喜看到客户已经从该设备投入出产中获益。”
Primo nanova?的关键技术特点和竞争优势
Primo nanova?以怪异的四方形主机、可配置六个刻蚀反映腔和两个除胶反映腔，它拥有怪异的技术创新和极高的出产效能。这些技术创新点蕴含：
? 拥有自主知识产权的低电容耦合线圈设计，可能对离子浓度和离子能量实现有效的独立节造，这对更高的选择性和软刻蚀至关沉要；
? 选取了齐全对称的反映腔设计、多区细分温控静电吸盘和动态晶圆边缘耦合节造，从而带来更好的均匀性。这种设计克服了一向以来在量产中难以解决的晶圆边缘刻蚀的不均匀性问题；
? 与同类设备相比拥有超高的分子泵抽速，以实现更宽的工艺窗口和更精确的描摹节造；
? 拥有自主创新的等离子体加强型PVD特种资料的涂层、反映腔内壁温度的精确节造和对反映腔内表表状态的优良节造，可实现更高的工艺不变性并削减微粒。
倪图强博士进一步指出：“从客户的反馈证实， Primo nanova?提供了我们预期达到的晶圆加工能力和出产率，以及拥有竞争优势的出产成本。它也是一款多职能的设备，使用至少的配置调整就能够变换合用于多种加工工艺。”
Primo nanova?是糖果派对网站公司的注册商标。
关于糖果派对网站半导体设备（上海）有限公司
糖果派对网站公司致力于为全球集成电路和LED芯片造作商提供当先的加工设备和工艺技术解决规划。糖果派对网站通过创新驱动自主研发的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已在国际重要芯片造作和封测厂商的出产线上宽泛利用于45纳米到7纳米及更先进的加工工艺和先进的封装工艺。目前，在亚洲地域40多条国际当先的出产线上运行的糖果派对网站反映台（蕴含介质刻蚀、TSV和MOCVD）已将近800个。糖果派对网站开发的用于LED和功率器件表延片出产的MOCVD设备不仅已在客户出产线投入量产，并且已成为在蓝光LED市场占有率最大确当先设备。
