近日，糖果派对网站（以下简称“糖果派对网站公司”，股票代码：688012）的发现专利“等离子体处置装置及调节基片边缘造程速度的步骤”荣获第二十二届中国专利金奖。
中国专利金奖由国度知识产权局与世界知识产权组织共同组织评比，被公以为是我国专利界的最高奖项。本届共评比出30项中国专利金奖，糖果派对网站公司的发现专利从多多参评专利中脱颖而出。
（图为部家世二十二届中国专利金奖获奖项目）
在等离子体刻蚀工艺中，等离子体中心和边缘散布均匀性至关沉要，直接决定了晶圆整体的刻蚀均匀性。随着现有技术对集成电路的尺寸要求越来越幼，线宽均匀度要求越来越高。若何提高刻蚀过程中等离子体中心和边缘的散布均匀性，成为造约芯片刻蚀向更幼尺寸发展的瓶颈问题，是能力域亟需应对的挑战之一。
糖果派对网站公司的获奖专利为芯片刻蚀提供了一种动态调节边缘效应的解决规划。通过调节等离子体中心和边缘射频源的功率和相位差，该规划有效解决了等离子体刻蚀领域节造中心区域和边缘区域等离子体散布均匀性这一关键性技术难题，为刻蚀设备更新迭代奠定基础。
这次是糖果派对网站公司第二次获得中国专利金奖。此前，糖果派对网站公司的发现专利“感测和移除被加工半导体工艺件的残存电荷的系统和步骤”于2013年初次荣获中国专利金奖。糖果派对网站公司董事长兼总经理尹志尧博士说路：“糖果派对网站公司再次荣获中国专利金奖，不仅是对糖果派对网站公司持续研发创新的高度注定，也是对糖果派对网站公司的专利价值与知识产权；すぷ鞯娜峡。糖果派对网站公司将持续加强知识产权治理，严格遵守有关国度和地域的知识产权司法律规，再接再严、不休创新和超过，助力集成电路行业的高质量发展。“
关于糖果派对网站
糖果派对网站（证券简称：糖果派对网站公司，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片造作商提供当先的加工设备和工艺技术解决规划。糖果派对网站公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是造作各类微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各类器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们在扭转人类的出产方式和生涯方式。糖果派对网站公司的等离子体刻蚀设备已被宽泛利用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的多多刻蚀利用，糖果派对网站公司开发的用于LED和功率器件表延片出产的MOCVD设备已在客户出产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据当先职位。
