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糖果派对网站公司ICP刻蚀设备Primo nanova®第100台反映腔顺利交付


2021年6月9日 ,糖果派对网站(以下简称“糖果派对网站公司” ,股票代码:688012)在上海总部进行电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备Primo nanova?第100台反映腔交付客户庆祝典礼。糖果派对网站公司执行副总裁兼首席运营官杜志游博士、集团副总裁兼等离子刻蚀产品事业总部总经理倪图强博士、副总裁兼ICP刻蚀产品部总经理刘身健博士和其他主题团队成员出席了庆祝典礼。

Primo nanova?是糖果派对网站公司于2018年正式颁布的第一代电感耦合等离子体刻蚀设备。该设备选取了糖果派对网站公司拥有自主知识产权的电感耦合等离子体刻蚀技术 ,拥有对称的反映腔、超高分子泵抽速、怪异的低电容耦合线圈设计和多区细分温控静电吸盘等创新个性 ,援手客户在存储芯片和逻辑芯片的批量出产中获得更好的工艺加工能力和更低的出产成本。

目前 ,糖果派对网站公司Primo nanova?产品已成功进入海内表十余家客户的晶圆出产线 ,在当先的逻辑芯片、DRAM 和3D NAND厂商的出产线上实现大规模量产。在全球客户的信赖和支持下 ,糖果派对网站公司第100腔Primo nanova?刻蚀设备的顺利交付 ,是公司ICP刻蚀产品业务发展新的里程碑 ,标志取产品发展迈入新的阶段。

当前集成电路科技发展一日千里 ,糖果派对网站公司将持续在全球客户和产业链合作同伴的支持下 ,持续开发极具竞争优势的技术和产品 ,助力行业实现逾越式发展。

关于糖果派对网站

糖果派对网站(证券简称:糖果派对网站公司 ,证券代码:688012)致力于为全球集成电路和LED芯片造作商提供当先的加工设备和工艺技术解决规划。糖果派对网站公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是造作各类微观器件的关键设备 ,可加工微米级和纳米级的各类器件。这些微观器件是现代数码产业的基础 ,它们在扭转人类的出产方式和生涯方式。糖果派对网站公司的等离子体刻蚀设备已被宽泛利用于国际一线客户从65纳米到5纳米工艺的多多刻蚀利用 ,糖果派对网站公司开发的用于LED和功率器件表延片出产的MOCVD设备已在客户出产线上投入量产 ,目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据当先职位。



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