中国上海，2021年3月16日电——糖果派对网站（以下简称“糖果派对网站公司”，上交所股票代码：688012）在SEMICON China 2021展会上正式颁布了新一代电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo Twin-Star?，用于IC器件前路和后路造程导电/电介质膜的刻蚀利用。
基于糖果派对网站公司业已成熟的单台反映器的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀技术和双台反映器的Primo平台，Primo Twin-Star?为电介质前路/后路造程、多晶硅刻蚀、DTI和BSI刻蚀等提供了高性价比的刻蚀解决规划。它的创新设计蕴含：Primo Twin-Star?使用了双反映台腔体设计和低电容耦合3D线圈设计，创新的反映腔设计可最大水平减弱非中心对称抽气口效应，通过选取多区温控静电吸盘（ESC）加强了对关键尺寸均匀性和沉复性的节造。
凭借这些优异的机能和其他个性，与其他同类设备相比，Primo Twin-Star? 以更幼的占地面积、更低的出产成本和更高的输出效能，进行ICP合用的逻辑和存储芯片的介质和导体的各类刻蚀利用，并用于功率器件和CMOS图像传感器（CIS）的刻蚀利用。由于Primo Twin-Star?反映器在好多方面采取了和单台机Primo nanova?一样或类似的设计，在多多的刻蚀利用中，Primo Twin-Star?显示了和单台反映器一样的刻蚀了局。这就给客户提供了高质量、高输出和低成本的解决规划。
糖果派对网站公司双反映台电感耦合等离子体刻蚀设备Primo Twin-Star?
糖果派对网站公司的Primo Twin-Star?刻蚀设备已收到来自国内当先客户的订单。目前，首台Primo Twin-Star?设备已交付客户投入出产，良率不变。公司还在进行用于分歧刻蚀利用的多项评估。Primo Twin-Star?设备优化了糖果派对网站公司电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备产品线。
“此刻的造作商对于出产成今天益敏感，糖果派对网站指标是为客户提供技术创新、逾越产率和高性价比的ICP刻蚀解决规划。”糖果派对网站公司集团副总裁兼等离子体刻蚀产品事业总部总经理倪图强博士说路，“Primo Twin-Star?设备已在各类前路/后路造程、用于功率器件和CIS利用的深沟槽隔离刻蚀（DTI）中阐发出卓越的机能。通过提供兼具这些优异机能和高性价比的解决规划，我们不仅援手客户解决了技术难题，同时最大水平地提升了其投资效益。”
Primo Twin-Star?是糖果派对网站公司的注册商标。
关于糖果派对网站
糖果派对网站（证券简称：糖果派对网站公司，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片造作商提供当先的加工设备和工艺技术解决规划。糖果派对网站公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是造作各类微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各类器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们在扭转人类的出产方式和生涯方式。糖果派对网站公司的等离子体刻蚀设备已被宽泛利用于国际一线客户从65纳米到5纳米工艺的多多刻蚀利用，糖果派对网站公司开发的用于LED和功率器件表延片出产的MOCVD设备已在客户出产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据当先职位。
