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沉要突破!糖果派对网站公司全球首台高选择性刻蚀设备顺利付运


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近日,糖果派对网站(以下简称 “糖果派对网站公司”,股票代码:688012)颁发其又一里程碑:Primo Domingo?气相高选择性刻蚀设备全球首台机顺利付运国内沉要集成电路研发造作客户。芯片架构三维化正成为支持芯片持续缩微的沉要动能,而高选择性刻蚀工艺是三维器件造作的最关键工艺之一。针对GAA、3D NAND、3D DRAM等器件工艺需要,糖果派对网站公司在高选择性刻蚀设备领域的沉要突破,添补了国内鄙人一代3D半导体器件造作中关键刻蚀工艺的自主化空缺。


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糖果派对网站公司Primo Domingo?选取全对称腔体结构与优化流场设计,在气体注入、温度节造、压力调控等关键环节实现系统整合,确保晶圆表表刻蚀的高度均匀性与工艺沉复性。Primo Domingo?怪异的集成气柜设计,可缩短气体注入距离,实现更快脉冲气体精密节造,提升刻蚀机能。设备内部选取了高抗侵蚀管路与特殊涂层资料以应对工艺所需的高活性刻蚀气体,保险设备持久靠得住运行。此表,Primo Domingo?建设了双造冷/双加热晶圆基座,支持宽领域精准温控,显著提升了刻蚀工艺的均匀性与不变性。Primo Domingo?同样搭载糖果派对网站公司量产的Primo C6V3传输系统,可矫捷搭配主刻蚀腔和辅助退火腔,满足分歧刻蚀利用的需要。


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该产品的成功付运,不仅进一步丰硕了公司在高端刻蚀设备领域的产品矩阵,更有力支持了集成电路产业在先进工艺节点上的技术攻坚,为客户实现更高机能、更幼尺寸的器件造作提供了关键工艺设备保险。


目前,糖果派对网站公司刻蚀设备全面覆盖从65纳米到3纳米及更先进工艺的刻蚀利用,全面覆盖存储器中各类超深邃宽比刻蚀利用。介质刻蚀达到 60比1,90比1的极深邃宽比,硅刻蚀达到140比1 的极深邃宽比,已经达到国际一流水平。公司行业初创的双反映台(Dual-Station)ICP刻蚀技术,已经达到0.2纳米的单原子水平,相当于一根头发丝直径的30万分之一。


经过持久深耕与技术攻坚,糖果派对网站公司已经累计开发出54种高端半导体设备,其中蕴含26种细分的单反映台反映腔和双反映台可单台独立操作的高能等离子体CCP及低能等离子体ICP刻蚀机,还蕴含24种薄膜设备,如各类MOCVD、PECVD、LPCVD、ALD、EPI设备和CMP及先进封装、光学量检测设备等。截至 2026 年 6 月底,糖果派对网站公司已累计超过 8800 个反映台在国内表220余条出产线上实现量产,设备不变性、工艺精度、量产适配性获得全球市场充分验证,平台化贸易化布局成就丰硕。


糖果派对网站公司资深副总裁丛海暗示:“糖果派对网站公司开发的一系列刻蚀设备在机能、不变性等方面满足了客户的高尺度要求,并可覆盖国内大无数的刻蚀利用需要。糖果派对网站公司持续践杏桩五个十大’的企业文化,将产品开发的十大准则始终贯通于产品开发、设计和造作的全过程,秉持为达到设备高机能和客户严格要求而开发的理想,对峙技术创新、设备差距化和知识产权;。随着新利用的进一步拓展,我们将持续推动与客户的亲昵合作互换,通过技术领域的持续创新,不休为客户提供极具竞争力的产品和解决规划,实现稳步发展与深度共赢。”


目前,糖果派对网站公司平台化战术已全面落地,产品覆盖度持续提升,企业发展迈入规;陆锥。未来五年打算通过“有机成长和表延扩大”,持续拓宽产品矩阵,覆盖蕴含刻蚀,薄膜,湿法和量检测设备等约60%以上的高端半导体设备市场,以及70%以上的先进封装设备市场。未来,糖果派对网站公司将持续秉秤装五个十大”的企业文化,使企业总能量、对表竞争的净能量最大化,实现高速、不变、健康、安全的高质量发展,在规模、产品竞争力和客户中意度上成为国际第一梯队的微观加工设备公司。


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关于糖果派对网站

糖果派对网站半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称:糖果派对网站公司,证券代码:688012)致力于为全球集成电路和LED芯片造作商提供当先的加工设备和工艺技术解决规划。糖果派对网站公司开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类、蕴含二十几种细分刻蚀设备已能够覆盖大无数刻蚀的利用。糖果派对网站公司的等离子体刻蚀设备已被宽泛利用于国内和国际一线客户,从65纳米到3纳米及更先进工艺的多多刻蚀利用,并已实现CMP湿法设备多种利用的覆盖。糖果派对网站公司最近十年着沉开发多种导体和半导体化学薄膜设备,如MOCVD、LPCVD、ALD、PVD、PECVD和EPI设备,并获得了可喜的进取。糖果派对网站公司开发的用于LED和功率器件表延片出产的MOCVD设备早已在客户出产线上投入量产,并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据当先职位。此表,糖果派对网站公司已全面布局光学和电子束量检测设备,并开发多种泛半导体微观加工设备,蕴含大平板显示设备等。这些设备都是造作各类微观器件的关键设备,可加工和检测微米级和纳米级的各类器件。这些微观器件是现代数码产业的基础,它们在扭转人类的出产方式和生涯方式。在近五年的全球半导体设备客户中意度调查中,糖果派对网站公司总评分四次获得第三,薄膜设备四次被评为第一。


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